1. Ce qu'une lentille de champ f-Theta résout réellement
Les deux miroirs d'un scanner dévient le faisceau versvitesse angulaire constante. Concentrez ce faisceau avec une lentille sphérique simple et les points laser atterrissent « denses au centre, clairsemés sur les bords » : plus la zone de travail est grande, plus l'écart de vitesse linéaire et de densité d'énergie est grand.
Une lentille de champ f-Theta rend la position du point focalisé linéaire avec l'angle de balayage(la relation "f-thêta"), convertissant la vitesse angulaire constante du scanner envitesse linéaire constante sur la pièce, de sorte que la taille du point et la densité d'énergie restent uniformes sur l'ensemble du champ de numérisation.
Les deux relations de calcul officielles(source : brochure officielle LINOS, section Calculs de base) :
- Diamètre du spot :
Ø du spot = 1,83 × λ × FL / Ø du faisceau
- où 1,83 est le facteur d'apodisation, λ est la longueur d'onde, FL est la distance focale (mm) et Beam-Ø est le diamètre du faisceau d'entrée (mm)
- Longueur de numérisation :
2y = FL × 2Θy × π/180,2x = FL × 2Θx × π/180
- où FL est la distance focale (mm) et Θx, Θy sont les angles de balayage (°)
2. Distance focale officielle ↔ Tableaux de champs de numérisation (données de sélection de base) 2.1 Série 1 030-1 080 nm (silice fondue, revêtement à faible absorption) — bande laser à fibre grand public
| FL nominale (mm) |
Champ de numérisation (mm) |
Angle de balayage maximum ±Θx,y (°) |
Ø du faisceau d'entrée @1/e² (mm) |
Tache @1/e² (μm) |
Distance de travail WD (mm) |
Verre de protection |
Numéro de pièce |
| 70 (télécentrique) |
26 × 26 |
±10,9 |
14 |
10 |
87,5 |
PG22 |
4401-551-000-26 |
| 100 (télécentrique) |
44 × 44 |
±12,2 |
14 |
15 |
137,0 |
PG14 |
4401-561-000-26 |
| 118 (télécentrique) |
50 × 50 |
±15,5 |
14 |
17 |
233,9 |
PG14 |
4401-607-000-26 |
| 163 |
85 × 85 |
±15,2 |
14 |
23 |
219.3 |
PG14 |
4401-589-000-26 |
| 167 (télécentrique) |
84 × 84 |
±14,9 |
20 |
16 |
215.4 |
PG16 |
4401-513-000-26 |
| 251 (télécentrique) |
63 × 63 |
±14,4 |
20 |
25 |
372.3 |
PG16 |
4401-631-000-26 |
| 255 |
187 × 187 |
±21,3 |
10 |
50 |
317.4 |
PG14 |
4401-499-000-26 |
| 270 |
136 × 136 |
±14,8 |
20 |
27 |
352,0 |
PG16 |
4401-604-000-26 |
| 340 |
176 × 176 |
±15,1 |
20 |
33 |
441.6 |
PG16 |
4401-546-000-26 |
| 420 |
254 × 254 |
±17,3 |
20 |
42 |
510.9 |
PG14 |
4401-508-000-26 |
2.2 Série 340-360 nm (silice fondue) — Bande de traitement UV
| FL nominale (mm) |
Champ de numérisation (mm) |
Angle de balayage maximum ±Θx,y (°) |
Ø du faisceau d'entrée @1/e² (mm) |
Tache @1/e² (μm) |
Distance de travail WD (mm) |
Verre de protection |
Numéro de pièce |
| 70 (télécentrique) |
28 × 28 |
±11,3 |
10 |
5 |
92,5 |
PG4 |
4401-576-000-21 |
| 100 (télécentrique) |
46 × 46 |
±12,7 |
10 |
7 |
136,7 |
PG11 |
4401-509-000-21 |
| 160 |
98 × 98 |
±17,7 |
7 |
15 |
197,4 |
PG4 |
4401-399-000-21 |
| 167 (télécentrique) |
65 × 65 |
±11,3 |
10 |
13 |
255,0 |
PG15 |
4401-511-000-21 |
| 255 |
170 × 170 |
±19,3 |
10 |
17 |
318.1 |
PG11 |
4401-481-000-21 |
2.3 Autres bandes de longueurs d'onde (résumé de la brochure officielle)
| Matériel |
Groupes couverts |
Plage de focales |
| Verre optique |
532-1064 nm |
100-420 mm |
| Silice fondue |
340-360 / 440-460 / 515-540 / 1030-1080 / 1900-2000 nm |
Dépend de la bande (par exemple 265/354/437 mm dans la bande 1 900-2 000 nm) |
3. Télécentrique ou non télécentrique : quand devez-vous passer au télécentrique
Description officielle des versions télécentriques :le champ de numérisation maximum ne dépasse pas l'ouverture de l'objectif, maisla rondeur du point et l'angle d'incidence restent constants sur tout le champ de numérisation.
| Article |
Non télécentrique (standard) |
Télécentrique |
| Champ de numérisation pour un FL donné |
Plus grand (par exemple 255 mm → 187 × 187 mm) |
Plus petit (par exemple 251 mm → 63 × 63 mm) |
| Repérez la rondeur sur le terrain |
Varie loin du centre |
Constante |
| Angle d'incidence sur le champ |
Varie selon le poste |
Constante |
| Ajustement typique |
Marquage, traitement général, surface maximale |
Perçage de précision, micro-usinage, via pièces coniques/perpendiculaires, multicouches ou étagées |
4. Silice fondue ou verre optique : sélection des matériaux et du revêtement
Selon les explications techniques officielles :
- Revêtement à faible absorption :optique en silice fondue dans le400-1 080 nmgamme livrée avec le revêtement à faible absorption du fabricant en standard —
- absorption≤ 20 ppm à 1 064 nm(généralement mieux que 10 ppm)
- absorption≤ 30 ppm à 532 nm(généralement mieux que 15 ppm)
- règle d'identification : les lentilles en silice fondue dont la référence se termine par "-26" portent ce revêtement
- Procédés de revêtementcouverture UV/VIS/NIR, du dépôt conventionnel jusqu'aupulvérisation par faisceau d'ions;
- Revêtements à angle optimisésont utilisés pour obtenir d'excellents etuniformetransmission sur tout le champ de numérisation ;
- Tests de seuil de dommages :tous les revêtements sont mesurés parDIN EN ISO 11254-2en utilisant la méthode multi-impulsions (S-on-1) ;
- Changement de focalisation thermiqueest contrée, selon la documentation officielle, en utilisant des matériaux moins absorbants (silice fondue de haute qualité spécifiquement sélectionnée) ainsi que des revêtements à faible absorption, surveillés lot par lot avec l'équipement de mesure d'absorption interne du fabricant.
| Cas |
Valeur |
| Lentille de champ en silice fondue à 1 064 nm, 12 ns, 100 Hz |
40 J/cm² |
| Lentille de champ en silice fondue à 1 030 nm, 291 fs, 5 kHz |
0,9 J/cm² |
| Lentille de champ en verre optique à 1 064 nm, 9 ns, 100 Hz |
10 J/cm² |
| Expanseur de faisceau, lentille d'entrée en silice fondue 1 064 nm, 9 ns |
30 J/cm² |
| Expanseur de faisceau, silice fondue 355 nm, 5 ns |
5 J/cm² |
Pourquoi c'est important :Les valeurs LIDT à impulsion courte (femtoseconde/picoseconde) diffèrent des valeurs nanosecondes de deux ordres de grandeur (0,9 J/cm² contre 40 J/cm²).La sélection d’optiques par rapport au seuil nanoseconde pour un processus femtoseconde est une source classique de dommages en cascade.
5. Extenseurs de faisceau : la ligne officielle est uniquement à grossissement variable continu 5.1 À quoi sert un extenseur de faisceau
Selon la description officielle, les extenseurs de faisceau sontsystèmes optiques de mise en forme du faisceaupour le traitement des matériaux au laser :
- Ilsmodifier simultanément le diamètre et la divergence du faisceau, optimisationdiamètre du point focal, position focale et caractéristiques de propagation du faisceau;
- En modifiant la divergence du faisceau d'entrée, ils peuventajuster la distance focale arrière des lentilles de champ F-Theta-Ronar / Focus-Ronar;
- Tous les expanseurs de faisceau LINOS peuvent être utilisés en sens inverse comme réducteurs de faisceau;
- La documentation officielle recommande explicitement de les associer àLentilles de champ LINOS F-Theta-Ronar.
5.2 Extenseurs de faisceau manuels à grossissement variable (tableau de spécifications officielles)
| Modèle |
Grossissement |
Longueur d'onde de conception |
Plage de longueurs d'onde |
Faisceau d'entrée maximum @1/e² |
Matériel |
Numéro de pièce |
| Extenseur de Faisceau var. 1x-4x silice fondue 355 nm (boîtier en acier inoxydable) |
1,0 à 4,0 |
355 nm |
340-360 nm |
10,0 millimètres |
Silice fondue + acier inoxydable |
4401-613-000-28 |
| Extenseur de Faisceau var. 2x-8x 1064 nm |
2,0 à 8,0 |
1064 nm |
1064 nm |
8,0 millimètres |
Verre optique + aluminium anodisé noir |
4401-256-000-20 |
| Extenseur de Faisceau var. 2x-8x 532 nm |
2,0 à 8,0 |
532 nm |
532 nm |
8,0 millimètres |
Verre optique + aluminium anodisé noir |
4401-257-000-20 |
| Extenseur de Faisceau var. 2x-8x silice fondue à 532 nm |
2,0 à 8,0 |
532 nm |
515-540 nm |
4,0 millimètres |
Lentille d'entrée en silice fondue |
4401-446-000-20 |
| Extenseur de Faisceau var. 2x-8x 1064 nm de silice fondue |
2,0 à 8,0 |
1064 nm |
1 030 à 1 080 nm |
6,0 millimètres |
Lentille d'entrée en silice fondue |
4401-359-000-20 |
| Extenseur de Faisceau var. 2x-8x 633/780/830/980 nm |
2,0 à 8,0 |
633 nm |
630-980 nm |
8,0 millimètres |
Verre optique |
4401-258-000-20 |
| Extenseur de Faisceau var. 2x-8x silice fondue à 355 nm |
2,0 à 8,0 |
355 nm |
355 nm |
3,4 mm |
Toute silice fondue |
4401-402-000-20 |
Paramètres mécaniques communs (brochure officielle) :
- Diamètre de faisceau de sortie mécanique maximum :31 millimètres
- Longueur maximale :165,5 millimètres(y compris déplacement de correction de divergence)
- Diamètre extérieur maximal :Ø 42,0 mm; diamètre de montageØ 37,6 −0,1 mm(face de référence A)
- Inclinaison d'angle d'entrée maximale autorisée :0,2° (sans vignettage); l'inclinaison du faisceau de sortie est amplifiée par leinverse du grossissement
- Rapprochement officiel :diamètre maximum du faisceau d'entrée = 31 mm ÷ grossissement(un grossissement plus élevé permet une ouverture d'entrée plus petite)
5.3 Extenseurs de faisceau motorisés à grossissement variable (fiche produit officielle)
- Variable continue1x…4xet2x…8x; bandes de longueur d'onde340 à 360 nm / 515 à 540 nm / 1 030 à 1 080 nm;conception entièrement en silice fondue;
- Diamètre maximum du faisceau d'entréejusqu'à 8 mm;sortie mécanique maximale 31 mm;
- 10 préréglages indépendants(grossissement et divergence) ; officiellement déclaré pour permettrecommutation automatique du grossissement qui réduit le temps de configuration de la machinealors quemaintenir la classe de sécurité du laser pendant le réglage;
- Interfaces :SubD9/RS232, USB 2.0, Phoenix Contact/RS232; règle de suffixe de numéro de pièce−20 = SubD9/RS232, −21 = Phoenix Contact/RS232, −22 = USB 2.0;
- Débit en bauds 9 600 bits/s ; fournir7 à 12 V(7–24 V pour l'interface Phoenix Contact) ; Conforme CE/RoHS ;IP20; Logiciel de contrôle Windows (Win10).
| Grossissement |
Longueur d'onde (nm) |
Faisceau d'entrée maximum @1/e² (mm) |
Revêtement à faible absorption |
Numéros de pièces |
| 1x…4x |
340-360 |
8 |
— |
4401-596-000-20 / -21 / -22 |
| 1x…4x |
515-540 |
8 |
✓ |
4401-597-000-20 / -21 / -22 |
| 1x…4x |
10h30-10h80 |
8 |
✓ |
4401-598-000-20 / -21 / -22 |
| 2x…8x |
340-360 |
6 |
— |
4401-516-000-20 / -21 / -22 |
| 2x…8x |
515-540 |
8 |
✓ |
4401-515-000-20 / -21 / -22 |
| 2x…8x |
10h30-10h80 |
8 |
✓ |
4401-514-000-20 / -21 / -22 |
Exemples de fiches techniques individuelles (pour vérifier les détails de la sélection) :
| Paramètre |
4401-596-000-2x (1x-4x, 340-360 nm) |
4401-634-000-2x (2x-8x, 340-360 nm) |
| Matériau de la lentille |
Silice fondue |
Silice fondue |
| Ouverture d'entrée mécanique |
8,7 mm |
15,5 mm |
| Faisceau de sortie maximum @1/e² |
25 mm (ouverture de sortie mécanique 31 mm) |
30,9 millimètres |
| Stabilité du pointage |
< 0,3 mrad |
< 0,5 mrad |
| Dispersion du retard de groupe GDD @λ |
3114 fs² |
1906 fs² |
| Transmission totale à 340-360 nm |
> 96 % |
> 96 % |
| LIDT |
4 J/cm² à 355 nm, 6 ns, 100 Hz ; 0,4 J/cm² à 343 nm, 200 fs, 1 kHz |
Même |
| Poids |
0,90 kg |
1,0 kg |
5.4 Extenseur de faisceau UV à faible dégazage (1x–4x)
Positionnement officiel : lepremier extenseur de faisceau UV standard à faible dégazage disponible dans le commerce, avec boîtier en acier inoxydable et optique en silice fondue, destiné àsemi-conducteurs, traitement des plaquettes et affichage électroniqueindustries. Le communiqué de presse officiel (2024-04-11) l'a lancé avec lelentille UV F-Theta Ronar à faible dégazage (340-360 nm).
| Paramètre |
Valeur |
| Plage de grossissement |
1x – 4x (continu, y compris ajustement continu de la divergence de sortie) |
| Longueur d'onde de conception |
355 nm (revêtement large bande 340-360 nm) |
| Diamètre maximum du faisceau d'entrée |
10 mm à 1/e² ; 12 mm (tronqué) |
| Diamètre maximum du faisceau de sortie |
24 mm (tronqué) |
| Transmission |
≥ 96 % à 340-360 nm ; > 90 % à 635 nm |
| LIDT |
4 J/cm² à 355 nm, 6 ns, 100 Hz |
| Logement |
Acier inoxydable (conception à faible dégazage) |
| Numéro de pièce |
4401-613-000-28 |
6. Verre de protection (remplaçable) – Le consommable le plus négligé
Officiellement, les lentilles de champ et les extenseurs de faisceau utilisentverre de protection en silice fondue remplaçable, et avec le verre de protection installé du côté de la sortie, l'ensemble est protégé contreIP6Xnormes de poussière. Le verre de protection est commandé séparément, par exemple :
| PG n°. |
Diamètre × épaisseur |
Bande de revêtement AR |
Numéro de pièce |
| PG14 |
113 mm × 3 mm |
1 030 à 1 080 nm, faible absorption |
4401-499-005-00 |
| PG16 |
132 mm × 3 mm |
1 030 à 1 080 nm, faible absorption |
4401-513-006-00 |
| PG11 |
113 mm × 3 mm |
340-380 + 633 nm |
4401-481-005-00 |
| PG15 |
113 mm × 3 mm |
340-380 + 633 nm |
4401-511-823-00 |
| PG27 |
17,5 mm × 1,6 mm |
340-380 + 633 nm |
4401-516-006-00 |
7. Objectif de terrain, extenseur de faisceau et scanner correspondant : liste de contrôle en six étapes
Étape 1 — Corrigez la zone de travail et les exigences de localisation
- Travaillez à rebours avec les formules officielles :
Ø du spot = 1,83 × λ × FL / Ø du faisceauet2y = FL × 2Θy × π/180;
- N'oubliez pas que l'angle de numérisation est limité par le scanner lui-même (les angles de numérisation maximaux diffèrent selon le modèle — consultez la fiche technique du scanner).
Étape 2 — Fixez la distance focale et vérifiez la distance de travail
- Choisissez les distances focales candidates dans les tableaux de la section 2 etlire simultanément la distance de travail WD— un WD insuffisant provoque des collisions avec la pièce à usiner et est plus souvent négligé que la taille des points.
Étape 3 — Fixez le matériau (silice fondue vs verre optique)
- Longueur d'onde en 340-360 / 440-460 / 515-540 / 1030-1080 / 1900-2000 nm → série de silice fondue ;
- 532-1 064 nm à puissance conventionnelle → série de verres optiques ;
- Impulsion courte ou puissance élevée → préférez la silice fondue avec revêtement à faible absorption (les références "-26").
Étape 4 — Vérifiez LIDT
- Faites correspondre la durée réelle de l'impulsion et la densité de puissance par rapport au LIDT (les valeurs nanosecondes et femtosecondes diffèrent de deux ordres de grandeur — voir la section 4) ;
- Officiellement:Le véritable expanseur de faisceau LIDT et le décalage de focalisation thermique dépendent de la configuration spécifique du système et des paramètres laser ; des tests avant utilisation sont recommandés.
Étape 5 — Décidez si vous avez besoin d'un extenseur de faisceau
- Pour réduire la taille du spot → agrandissez le diamètre du faisceau d'entrée (en utilisant un expanseur pour approcher l'ouverture d'entrée de conception de la lentille de champ, vous obtenez le plus petit spot) ;
- Pour ajuster la position de mise au point/la distance focale arrière → modifiez la divergence d'entrée avec un extenseur ;
- Pour réduire plutôt que d'agrandir → officiellement, les expanseurs LINOS peuvent être utilisés à l'envers comme réducteurs de faisceau.
Étape 6 — Réparer les interfaces, les préréglages et les consommables
- Pour les versions motorisées, confirmer le suffixe de l'interface (−20 / −21 / −22) et si une commutation automatique à 10 préréglages est nécessaire ;
- Vérifiez le filetage de la lentille de champ (M85×1, avec des modèles individuels à M76×1 / M110×1) et le diamètre de montage de l'extenseur (Ø37,6 −0,1 mm) ;
- Commandez un verre de protection assorti dans le même achat.
8. Pièges sur le terrain
- Piège 1 : Regarder uniquement le champ de numérisation, pas la distance de travail.Une longue focale donne une grande surface mais aussi un long WD (par exemple 420 mm de focale → WD 510,9 mm). Si la structure de la machine ne peut pas l'accepter, excluez-le dès la première étape.
- Piège 2 : Sélection d'optiques sur LIDT nanoseconde pour un processus femtoseconde.Données officielles : les lentilles de champ en silice fondue affichent 40 J/cm² à 12 ns mais seulement 0,9 J/cm² à 291 fs. La sélection par rapport à la valeur nanoseconde entraîne des dommages en cascade en peu de temps.
- Piège 3 : Confondre « ouverture mécanique » et « ouverture optique 1/e² ».La sortie mécanique maximale d'un extenseur de faisceau est de 31 mm, tandis qu'un modèle spécifique peut être de 25 mm ou 30,9 mm à la définition 1/e² ; calculer le point à partir de 31 mm donne une mauvaise réponse.
- Piège 4 : Oublier que l’ouverture d’entrée de l’expandeur diminue avec le grossissement.Approximation officielle : diamètre maximum du faisceau d'entrée = 31 mm ÷ grossissement. La sélection d'un grossissement élevé sans vérifier l'ouverture d'entrée produit un vignettage ou un écrêtage.
- Piège 5 : Mélanger l'optique télécentrique et non télécentrique au sein d'un même processus.Les versions télécentriques maintiennent la rondeur du spot et l'angle d'incidence constants sur tout le champ ; les versions non télécentriques varient selon la position. Les mélanger sur une seule machine produit une qualité incohérente entre les stations.
- Piège 6 : ignorer la limite d'inclinaison de l'angle d'entrée de 0,2 °.Officiellement, une inclinaison maximale de l'angle d'entrée de 0,2° est autorisée sans vignettage, et l'inclinaison de sortie est amplifiée par l'inverse du grossissement : plus le grossissement est élevé, plus un trajet de faisceau bâclé est douloureux.
- Piège 7 : Ne pas stocker de verre de protection.Le verre de protection est un consommable remplaçable commandé séparément ; manquer arrête la ligne.
9. Lien avec le produit : achat de lentilles de champ et d'extenseurs de faisceau LINOS
Fradwell fournit des lentilles de champ LINOS d'origine allemande (F-Theta-Ronar) et des extenseurs de faisceau, avec prise en charge de la sélection par distance focale/longueur d'onde/champ de balayage, vérification de la fiche technique et expédition dans le monde entier :
- Lentilles de champ à faible absorption en silice fondue de 1 030 à 1 080 nm(70/100/118/163/167/251/255/270/340/420 mm) : [espace réservé pour la page produit] ;
- Lentilles de champ de silice fondue UV de 340 à 360 nm(70/100/160/167/255 mm) : [espace réservé pour la page produit] ;
- Extenseurs de faisceau manuels à grossissement variable(1x-4x, 2x-8x, bandes de longueurs d'onde multiples) : [espace réservé pour la page produit] ;
- Extenseurs de faisceau motorisés à grossissement variable(1x-4x, 2x-8x, 10 préréglages) : [espace réservé pour la page produit] ;
- Extenseurs de faisceau UV à faible dégazage(1x-4x, semi-conducteur/plaquette/écran) : [espace réservé pour la page produit] ;
- Verre de protection assorti (série PG): [espace réservé pour la page produit].
Pour une aide à la sélection, envoyez-nous : la longueur d'onde du laser, la puissance moyenne/crête et la durée d'impulsion, le champ de balayage cible, le diamètre du point cible, les contraintes de distance de travail et le modèle de scanner avec son angle de balayage maximum.
10. Conclusion
Sélection des lentilles de champ et des extenseurs de faisceau LINOS en trois phrases :
- La distance focale est la seule variable principale— il fixe ensemble le champ de numérisation, la taille du spot et la distance de travail, et le verrouillage verrouille la relation entre les trois (formules officielles dans la section 1) ;
- Le matériau et le revêtement dépendent de la longueur d'onde, de la puissance et de la durée de l'impulsion.— silice fondue pour UV et impulsions courtes, revêtement à faible absorption (références se terminant par "-26") pour travaux exigeants à 1 030-1 080 nm, avec vérification LIDT par rapport à la durée réelle de l'impulsion ;
-