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LINOS F-Theta-Ronar Lentes de Campo e Expansores de Feixe 2026: Como Escolher o Comprimento Focal e Combinar Expansores com o seu Scanner

October 28, 2026
1. O que uma lente de campo f-Theta realmente resolve

Os dois espelhos de um scanner desviam o feixe emvelocidade angular constante. Foque esse feixe com uma lente esférica simples e os pontos de laser pousam “densos no centro, esparsos nas bordas” – quanto maior a área de trabalho, maior o desvio na velocidade linear da borda e na densidade de energia.

Uma lente de campo f-Theta torna a posição do ponto focalizado linear com o ângulo de varredura(a relação "f-teta"), convertendo a velocidade angular constante do scanner emvelocidade linear constante na peça de trabalho, para que o tamanho do ponto e a densidade de energia permaneçam uniformes em todo o campo de varredura.

As duas relações oficiais de cálculo(fonte: folheto oficial LINOS, seção Cálculos Básicos):

  • Diâmetro do ponto: Ponto-Ø = 1,83 × λ × FL / Feixe-Ø
    • onde 1,83 é o fator de apodização, λ é o comprimento de onda, FL é a distância focal (mm) e Beam-Ø é o diâmetro do feixe de entrada (mm)
  • Comprimento da digitalização: 2y = FL × 2Θy × π/180,2x = FL × 2Θx × π/180
    • onde FL é a distância focal (mm) e Θx, Θy são ângulos de varredura (°)
2. Distância focal oficial ↔ Tabelas de campo de varredura (dados de seleção principal) 2.1 Série 1030–1080 nm (sílica fundida, revestimento de baixa absorção) — banda de laser de fibra convencional
FL nominal (mm) Campo de digitalização (mm) Ângulo máximo de varredura ±Θx,y (°) Feixe de entrada Ø @1/e² (mm) Ponto @1/e² (μm) Distância de trabalho WD (mm) Vidro protetor Número da peça
70 (telecêntrico) 26 × 26 ±10,9 14 10 87,5 PG22 4401-551-000-26
100 (telecêntrico) 44×44 ±12,2 14 15 137,0 PG14 4401-561-000-26
118 (telecêntrico) 50 × 50 ±15,5 14 17 233,9 PG14 4401-607-000-26
163 85 × 85 ±15,2 14 23 219,3 PG14 4401-589-000-26
167 (telecêntrico) 84 × 84 ±14,9 20 16 215,4 PG16 4401-513-000-26
251 (telecêntrico) 63 × 63 ±14,4 20 25 372,3 PG16 4401-631-000-26
255 187 × 187 ±21,3 10 50 317,4 PG14 4401-499-000-26
270 136 × 136 ±14,8 20 27 352,0 PG16 4401-604-000-26
340 176 × 176 ±15,1 20 33 441,6 PG16 4401-546-000-26
420 254 × 254 ±17,3 20 42 510,9 PG14 4401-508-000-26
2.2 Série 340–360 nm (sílica fundida) — banda de processamento UV
FL nominal (mm) Campo de digitalização (mm) Ângulo máximo de varredura ±Θx,y (°) Feixe de entrada Ø @1/e² (mm) Ponto @1/e² (μm) Distância de trabalho WD (mm) Vidro protetor Número da peça
70 (telecêntrico) 28 × 28 ±11,3 10 5 92,5 PG4 4401-576-000-21
100 (telecêntrico) 46×46 ±12,7 10 7 136,7 PG11 4401-509-000-21
160 98 × 98 ±17,7 7 15 197,4 PG4 4401-399-000-21
167 (telecêntrico) 65 × 65 ±11,3 10 13 255,0 PG15 4401-511-000-21
255 170 × 170 ±19,3 10 17 318,1 PG11 4401-481-000-21
2.3 Outras bandas de comprimento de onda (resumo oficial da brochura)
Material Bandas cobertas Faixa de distância focal
Vidro óptico 532–1064 nm 100–420 mm
Sílica fundida 340–360 / 440–460 / 515–540 / 1030–1080 / 1900–2000 nm Depende da banda (por exemplo, 265/354/437 mm na banda 1900–2000 nm)
3. Telecêntrico versus não telecêntrico: quando você deve se tornar telecêntrico

Descrição oficial das versões telecêntricas:o campo máximo de varredura não excede a abertura da lente, masa redondeza do ponto e o ângulo de incidência permanecem constantes em todo o campo de varredura.

Item Não telecêntrico (padrão) Telecêntrico
Campo de varredura para um determinado FL Maior (por exemplo, 255 mm → 187 × 187 mm) Menor (por exemplo, 251 mm → 63 × 63 mm)
Identifique arredondamento em todo o campo Varia longe do centro Constante
Ângulo de incidência em todo o campo Varia com a posição Constante
Ajuste típico Marcação, processamento geral, área máxima Furação de precisão, microusinagem, via conicidade/perpendicularidade, peças multicamadas ou escalonadas
4. Sílica fundida versus vidro óptico: seleção de material e revestimento

Por explicações técnicas oficiais:

  • Revestimento de baixa absorção:óptica de sílica fundida no400–1080 nma linha é fornecida com o revestimento de baixa absorção do fabricante como padrão -
    • absorção≤ 20 ppm a 1064 nm(normalmente melhor que 10 ppm)
    • absorção≤ 30 ppm a 532 nm(normalmente melhor que 15 ppm)
    • regra de identificação: lentes de sílica fundida cujo número de peça termina em "-26" possuem este revestimento
  • Processos de revestimentocobrem UV/VIS/NIR, desde a deposição convencional atépulverização catódica por feixe de íons;
  • Revestimentos com ângulo otimizadosão usados ​​para alcançar resultados excelentes euniformetransmissão em todo o campo de varredura;
  • Teste de limite de dano:todos os revestimentos são medidos porDIN EN ISO 11254-2usando o método multipulso (S-on-1);
  • Mudança de foco térmicoé combatido, de acordo com a documentação oficial, pelo uso de materiais de baixa absorção (sílica fundida de alto grau especificamente selecionada) mais revestimentos de baixa absorção, monitorados lote por lote com o equipamento interno de medição de absorção do fabricante.
Caso Valor
Lente de campo de sílica fundida a 1064 nm, 12 ns, 100 Hz 40J/cm²
Lente de campo de sílica fundida a 1030 nm, 291 fs, 5 kHz 0,9J/cm²
Lente de campo de vidro óptico a 1064 nm, 9 ns, 100 Hz 10J/cm²
Expansor de feixe, lente de entrada de sílica fundida de 1064 nm, 9 ns 30J/cm²
Expansor de feixe, sílica fundida de 355 nm, 5 ns 5J/cm²

Por que é importante:Os valores LIDT de pulso curto (femtosegundo/picossegundo) diferem dos valores de nanossegundos em duas ordens de grandeza (0,9 J/cm² vs 40 J/cm²).A seleção da óptica em relação ao limite de nanossegundos para um processo de femtosegundo é uma fonte clássica de danos em cascata.

5. Expansores de feixe: a linha oficial é apenas de ampliação variável contínua 5.1 O que um expansor de feixe faz

De acordo com a descrição oficial, os expansores de feixe sãosistemas ópticos de modelagem de feixepara processamento de material a laser:

  • Elesalterar o diâmetro e a divergência do feixe simultaneamente, otimizandodiâmetro do ponto focal, posição focal e características de propagação do feixe;
  • Ao alterar a divergência do feixe de entrada, eles podemajustar a distância focal traseira das lentes de campo F-Theta-Ronar / Focus-Ronar;
  • Todos os expansores de feixe LINOS podem ser usados ​​ao contrário como redutores de feixe;
  • A documentação oficial recomenda explicitamente combiná-los comLentes de campo LINOS F-Theta-Ronar.
5.2 Expansores manuais de feixe de ampliação variável (tabela de especificações oficiais)
Modelo Ampliação Comprimento de onda do projeto Faixa de comprimento de onda Feixe de entrada máximo @1/e² Material Número da peça
Expansor de feixe var. 1x-4x sílica fundida de 355 nm (caixa de aço inoxidável) 1,0–4,0 355 nm 340–360 nm 10,0mm Sílica fundida + aço inoxidável 4401-613-000-28
Expansor de feixe var. 2x-8x 1064nm 2,0–8,0 1064nm 1064nm 8,0mm Vidro óptico + alumínio anodizado preto 4401-256-000-20
Expansor de feixe var. 2x-8x 532nm 2,0–8,0 532nm 532nm 8,0mm Vidro óptico + alumínio anodizado preto 4401-257-000-20
Expansor de feixe var. sílica fundida 2x-8x 532 nm 2,0–8,0 532nm 515–540 nm 4,0mm Lente de entrada de sílica fundida 4401-446-000-20
Expansor de feixe var. Sílica fundida 2x-8x 1064 nm 2,0–8,0 1064nm 1030–1080 nm 6,0mm Lente de entrada de sílica fundida 4401-359-000-20
Expansor de feixe var. 2x-8x 633/780/830/980nm 2,0–8,0 633nm 630–980 nm 8,0mm Vidro óptico 4401-258-000-20
Expansor de feixe var. Sílica fundida 2x-8x 355 nm 2,0–8,0 355 nm 355 nm 3,4mm Toda sílica fundida 4401-402-000-20

Parâmetros mecânicos comuns (brochura oficial):

  • Diâmetro máximo mecânico do feixe de saída:31mm
  • Comprimento máximo:165,5 milímetros(incluindo viagens de correção de divergência)
  • Diâmetro externo máximo:Ø 42,0 mm; diâmetro de montagemØ 37,6 −0,1 mm(face de referência A)
  • Inclinação máxima permitida do ângulo de entrada:0,2° (sem vinheta); a inclinação do feixe de saída é amplificada peloinverso da ampliação
  • Aproximação oficial:diâmetro máximo do feixe de entrada = 31 mm ÷ ampliação(uma ampliação maior permite uma abertura de entrada menor)
5.3 Expansores motorizados de feixe de ampliação variável (ficha oficial do produto)
  • Variável contínua1x…4xe2x…8x; bandas de comprimento de onda340–360 nm/515–540 nm/1030–1080 nm;todo design de sílica fundida;
  • Diâmetro máximo do feixe de entradaaté 8 mm;saída máxima mecânica 31 mm;
  • 10 predefinições independentes(ampliação e divergência); declarado oficialmente para permitircomutação automática de ampliação que reduz o tempo de configuração da máquinaenquantomantendo a classe de segurança do laser durante o ajuste;
  • Interfaces:SubD9/RS232, USB 2.0, Phoenix Contact/RS232; regra de sufixo de número de peça−20 = SubD9/RS232, −21 = Phoenix Contact/RS232, −22 = USB 2.0;
  • Taxa de transmissão 9600 bits/s; fornecer7–12V(7–24 V para interface Phoenix Contact); Compatível com CE/RoHS;IP20; Software de controle do Windows (Win10).
Ampliação Comprimento de onda (nm) Feixe de entrada máximo @1/e² (mm) Revestimento de baixa absorção Números de peça
1x…4x 340–360 8 - 4401-596-000-20/-21/-22
1x…4x 515–540 8 ✓ 4401-597-000-20/-21/-22
1x…4x 1030–1080 8 ✓ 4401-598-000-20/-21/-22
2x…8x 340–360 6 - 4401-516-000-20/-21/-22
2x…8x 515–540 8 ✓ 4401-515-000-20/-21/-22
2x…8x 1030–1080 8 ✓ 4401-514-000-20/-21/-22

Exemplos de folhas de dados individuais (para verificar detalhes da seleção):

Parâmetro 4401-596-000-2x (1x-4x, 340–360nm) 4401-634-000-2x (2x-8x, 340–360 nm)
Material da lente Sílica fundida Sílica fundida
Abertura de entrada mecânica 8,7mm 15,5mm
Feixe de saída máximo @1/e² 25 mm (abertura de saída mecânica 31 mm) 30,9mm
Apontando estabilidade < 0,3 mrad < 0,5 mrad
Dispersão de atraso de grupo GDD @λ 3114 fs² 1906 fs²
Transmissão total @340–360 nm > 96% > 96%
LIDT 4 J/cm² a 355 nm, 6 ns, 100 Hz; 0,4 J/cm² a 343 nm, 200 fs, 1 kHz Mesmo
Peso 0,90kg 1,0kg
5.4 Expansor de feixe UV de baixa emissão de gases (1x–4x)

Posicionamento oficial: oprimeiro expansor de feixe UV padrão de baixa emissão de gases pronto para uso, com carcaça em aço inoxidável e óptica de sílica fundida, destinada asemicondutor, processamento de wafer e display eletrônicoindústrias. O comunicado de imprensa oficial (2024-04-11) lançou-o juntamente com oLente UV F-Theta Ronar de baixa emissão de gases (340–360 nm).

Parâmetro Valor
Faixa de ampliação 1x – 4x (contínuo, incluindo ajuste contínuo de divergência de saída)
Comprimento de onda do projeto 355 nm (revestimento de banda larga 340–360 nm)
Diâmetro máximo do feixe de entrada 10mm@1/e²; 12 mm (truncado)
Diâmetro máximo do feixe de saída 24 mm (truncado)
Transmissão ≥ 96% @340–360 nm; > 90% @635nm
LIDT 4 J/cm² a 355 nm, 6 ns, 100 Hz
Habitação Aço inoxidável (design de baixa emissão de gases)
Número da peça 4401-613-000-28
6. Vidro protetor (substituível) – O consumível mais esquecido

Oficialmente, tanto as lentes de campo quanto os expansores de feixe usamvidro protetor de sílica fundida substituível, e com o vidro protetor instalado no lado da saída o conjunto fica protegido contraIP6Xpadrões de poeira. O vidro protetor é pedido separadamente, por exemplo:

PG não. Diâmetro × espessura Banda de revestimento AR Número da peça
PG14 113 mm × 3 mm 1030–1080 nm, baixa absorção 4401-499-005-00
PG16 132 mm × 3 mm 1030–1080 nm, baixa absorção 4401-513-006-00
PG11 113 mm × 3 mm 340–380 + 633nm 4401-481-005-00
PG15 113 mm × 3 mm 340–380 + 633nm 4401-511-823-00
PG27 17,5 mm × 1,6 mm 340–380 + 633nm 4401-516-006-00
7. Lente de campo, expansor de feixe e scanner correspondentes: lista de verificação de seis etapas

Passo 1 — Corrija a área de trabalho e os requisitos de localização

  • Trabalhe de trás para frente com as fórmulas oficiais:Ponto-Ø = 1,83 × λ × FL / Feixe-Øe2y = FL × 2Θy × π/180;
  • Lembre-se de que o ângulo de digitalização é limitado pelo próprio scanner (os ângulos máximos de digitalização variam de acordo com o modelo – verifique a folha de dados do scanner).

Passo 2 — Corrija a distância focal e verifique a distância de trabalho

  • Escolha distâncias focais candidatas nas tabelas da Seção 2 eleia a distância de trabalho WD ao mesmo tempo— WD insuficiente provoca colisões na peça de trabalho e é mais frequentemente ignorado do que o tamanho do ponto.

Passo 3 — Fixe o material (sílica fundida vs vidro óptico)

  • Comprimento de onda em 340–360 / 440–460 / 515–540 / 1030–1080 / 1900–2000 nm → série de sílica fundida;
  • 532–1064 nm em potência convencional → série de vidro óptico;
  • Pulso curto ou alta potência → prefira sílica fundida com revestimento de baixa absorção (números de peça "-26").

Passo 4 — Verifique o LIDT

  • Combine a duração real do pulso e a densidade de potência com o LIDT (os valores de nanossegundos e femtossegundos diferem em duas ordens de grandeza - consulte a Seção 4);
  • Oficialmente:o expansor de feixe real LIDT e a mudança de foco térmico dependem da configuração específica do sistema e dos parâmetros do laser; testes antes do uso são recomendados.

Passo 5 — Decida se você precisa de um expansor de feixe

  • Para reduzir o tamanho do ponto → expandir o diâmetro do feixe de entrada (usar um expansor para se aproximar da abertura de entrada projetada da lente de campo produz o menor ponto);
  • Para ajustar a posição do foco/distância focal traseira → altere a divergência de entrada com um expansor;
  • Para reduzir em vez de expandir → oficialmente, os expansores LINOS podem ser usados ​​ao contrário como redutores de feixe.

Passo 6 — Corrigir interfaces, predefinições e consumíveis

  • Para versões motorizadas, confirme o sufixo da interface (−20 / −21 / −22) e se é necessária a comutação automática de 10 pré-seleções;
  • Verifique a rosca da lente de campo (M85×1, com modelos individuais em M76×1 / M110×1) e o diâmetro de montagem do expansor (Ø37,6 −0,1 mm);
  • Encomende vidro protetor correspondente na mesma compra.
8. Armadilhas de campo
  • Armadilha 1: Olhar apenas para o campo de digitalização, não para a distância de trabalho.Uma distância focal longa proporciona uma área grande, mas também um WD longo (por exemplo, distância focal de 420 mm → WD 510,9 mm). Se a estrutura da máquina não puder acomodá-lo, descarte-o na primeira etapa.
  • Armadilha 2: Seleção de óptica em LIDT de nanossegundos para um processo de femtosegundo.Dados oficiais: lentes de campo de sílica fundida mostram 40 J/cm² a 12 ns, mas apenas 0,9 J/cm² a 291 fs. A seleção contra o valor de nanossegundos leva a danos em cascata em pouco tempo.
  • Armadilha 3: Confundir "abertura mecânica" com "abertura óptica 1/e²".A saída mecânica máxima de um expansor de feixe é de 31 mm, enquanto um modelo específico pode ser de 25 mm ou 30,9 mm na definição 1/e²; calcular o ponto a partir de 31 mm dá a resposta errada.
  • Armadilha 4: Esquecer que a abertura de entrada do expansor diminui com a ampliação.Aproximação oficial: diâmetro máximo do feixe de entrada = 31 mm ÷ ampliação. Selecionar uma ampliação alta sem verificar a abertura de entrada produz vinhetas ou recortes.
  • Armadilha 5: Misturar óptica telecêntrica e não telecêntrica em um processo.As versões telecêntricas mantêm a circularidade do ponto e o ângulo de incidência constantes em todo o campo; versões não telecêntricas variam com a posição. Misturá-los em uma máquina produz qualidade inconsistente entre as estações.
  • Armadilha 6: Ignorar o limite de inclinação do ângulo de entrada de 0,2°.Oficialmente, uma inclinação máxima do ângulo de entrada de 0,2° é permitida sem vinheta, e a inclinação da saída é amplificada pelo inverso da ampliação – portanto, quanto maior a ampliação, mais um caminho de feixe desleixado prejudica.
  • Armadilha 7: Não estocar vidro protetor.O vidro protetor é um consumível substituível encomendado separadamente; acabar interrompe a linha.

9. Associação do produto: fornecimento de lentes de campo e expansores de feixe LINOS

A Fradwell fornece lentes de campo LINOS alemãs originais (F-Theta-Ronar) e expansores de feixe, com suporte de seleção por distância focal/comprimento de onda/campo de varredura, verificação de folha de dados e remessa mundial:

  • Lentes de campo de baixa absorção de sílica fundida de 1030–1080 nm(70/100/118/163/167/251/255/270/340/420 mm): [espaço reservado para página do produto];
  • Lentes de campo de sílica fundida UV de 340–360 nm(70/100/160/167/255 mm): [espaço reservado para página do produto];
  • Expansores manuais de feixe de ampliação variável(1x-4x, 2x-8x, múltiplas bandas de comprimento de onda): [espaço reservado para página do produto];
  • Expansores de feixe de ampliação variável motorizados(1x-4x, 2x-8x, 10 predefinições): [espaço reservado para página do produto];
  • Expansores de feixe UV de baixa emissão de gases(1x-4x, semicondutor/wafer/display): [espaço reservado para página do produto];
  • Vidro protetor correspondente (série PG): [espaço reservado para página do produto].

Para suporte de seleção, envie-nos: comprimento de onda do laser, potência média/pico e duração do pulso, campo de varredura alvo, diâmetro do ponto alvo, restrições de distância de trabalho e modelo de scanner com seu ângulo máximo de varredura.

10. Conclusão

Seleção de lente de campo LINOS e expansor de feixe em três frases:

  1. A distância focal é a única variável primária- fixa o campo de varredura, o tamanho do ponto e a distância de trabalho juntos, e bloqueá-lo bloqueia o relacionamento entre todos os três (fórmulas oficiais na Seção 1);
  2. O material e o revestimento seguem o comprimento de onda, a potência e a duração do pulso— sílica fundida para UV e pulsos curtos, revestimento de baixa absorção (números de peças que terminam em "-26") para trabalhos exigentes de 1030–1080 nm, com LIDT verificado em relação à duração real do pulso;
  3. O expansor de feixe é sua alavanca de precisão- a linha padrão oficial é a ampliação variável contínua (1x-4x / 2x-8x), utilizável para frente para expandir, para trá