스캐너의 두 거울은 빔을 편향시킵니다.일정한 각속도. 일반 구면 렌즈로 빔의 초점을 맞추면 레이저 스폿이 "중앙은 조밀하고 가장자리는 희박"하게 됩니다. 작업 영역이 클수록 가장자리 선속도와 에너지 밀도의 편차가 커집니다.
f-Theta 필드 렌즈는 스캔 각도에 따라 초점 위치를 선형으로 만듭니다.("f-세타" 관계), 스캐너의 일정한 각속도를 다음으로 변환합니다.공작물의 일정한 선속도, 전체 스캔 필드에서 스폿 크기와 에너지 밀도가 균일하게 유지됩니다.
두 가지 공식 계산 관계(출처: LINOS 공식 브로셔, 기본 계산 섹션):
스폿 Ø = 1.83 × λ × FL / 빔 Ø
2y = FL × 2Θy × π/180,2x = FL × 2Θx × π/180
| 공칭 FL(mm) | 스캔 필드(mm) | 최대 스캔 각도 ±Θx,y(°) | 입력 빔 Ø @1/e²(mm) | 스팟 @1/e²(μm) | 작동 거리 WD(mm) | 보호 유리 | 부품 번호 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 70(텔레센트릭) | 26×26 | ±10.9 | 14 | 10 | 87.5 | PG22 | 4401-551-000-26 |
| 100(텔레센트릭) | 44×44 | ±12.2 | 14 | 15 | 137.0 | PG14 | 4401-561-000-26 |
| 118(텔레센트릭) | 50×50 | ±15.5 | 14 | 17 | 233.9 | PG14 | 4401-607-000-26 |
| 163 | 85×85 | ±15.2 | 14 | 23 | 219.3 | PG14 | 4401-589-000-26 |
| 167(텔레센트릭) | 84×84 | ±14.9 | 20 | 16 | 215.4 | PG16 | 4401-513-000-26 |
| 251(텔레센트릭) | 63×63 | ±14.4 | 20 | 25 | 372.3 | PG16 | 4401-631-000-26 |
| 255 | 187×187 | ±21.3 | 10 | 50 | 317.4 | PG14 | 4401-499-000-26 |
| 270 | 136×136 | ±14.8 | 20 | 27 | 352.0 | PG16 | 4401-604-000-26 |
| 340 | 176×176 | ±15.1 | 20 | 33 | 441.6 | PG16 | 4401-546-000-26 |
| 420 | 254×254 | ±17.3 | 20 | 42 | 510.9 | PG14 | 4401-508-000-26 |
| 공칭 FL(mm) | 스캔 필드(mm) | 최대 스캔 각도 ±Θx,y(°) | 입력 빔 Ø @1/e²(mm) | 스팟 @1/e²(μm) | 작동 거리 WD(mm) | 보호 유리 | 부품 번호 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 70(텔레센트릭) | 28×28 | ±11.3 | 10 | 5 | 92.5 | PG4 | 4401-576-000-21 |
| 100(텔레센트릭) | 46×46 | ±12.7 | 10 | 7 | 136.7 | PG11 | 4401-509-000-21 |
| 160 | 98×98 | ±17.7 | 7 | 15 | 197.4 | PG4 | 4401-399-000-21 |
| 167(텔레센트릭) | 65×65 | ±11.3 | 10 | 13 | 255.0 | PG15 | 4401-511-000-21 |
| 255 | 170×170 | ±19.3 | 10 | 17 | 318.1 | PG11 | 4401-481-000-21 |
| 재료 | 밴드 커버 | 초점 거리 범위 |
|---|---|---|
| 광학유리 | 532~1064nm | 100~420mm |
| 용융 실리카 | 340~360 / 440~460 / 515~540 / 1030~1080 / 1900~2000nm | 대역에 따라 다름(예: 1900~2000nm 대역에서 265/354/437mm) |
텔레센트릭 버전에 대한 공식 설명:최대 스캔 필드는 렌즈 조리개를 초과하지 않습니다., 하지만스폿 진원도와 입사각은 전체 스캔 필드에서 일정하게 유지됩니다..
| 목 | 비텔레센트릭(표준) | 텔레센트릭 |
|---|---|---|
| 특정 FL에 대한 스캔 필드 | 더 큼(예: 255mm → 187 × 187mm) | 더 작음(예: 251mm → 63 × 63mm) |
| 필드 전체에 걸쳐 지점 진원도 | 중심에서 멀어짐 | 끊임없는 |
| 필드 전체의 입사각 | 포지션에 따라 다름 | 끊임없는 |
| 전형적인 핏 | 마킹, 일반가공, 최대면적 | 테이퍼/직각, 다층 또는 계단식 부품을 통한 정밀 드릴링, 미세 가공 |
공식 기술 설명에 따르면:
| 사례 | 값 |
|---|---|
| 용융 실리카 필드 렌즈 @1064nm, 12ns, 100Hz | 40J/cm² |
| 용융 실리카 필드 렌즈 @1030 nm, 291 fs, 5 kHz | 0.9J/cm² |
| 광학 유리 필드 렌즈 @1064nm, 9ns, 100Hz | 10J/cm² |
| 빔 확장기, 1064nm 용융 실리카 입력 렌즈, 9ns | 30J/cm² |
| 빔 확장기, 355nm 용융 실리카, 5ns | 5J/cm² |
중요한 이유:단펄스(펨토초/피코초) LIDT 값은 나노초 값과 두 배 정도 다릅니다(0.9 J/cm² 대 40 J/cm²).펨토초 프로세스의 나노초 임계값에 맞춰 광학 장치를 선택하는 것은 연속적인 손상의 전형적인 원인입니다.
5. 빔 익스팬더: 공식 라인은 연속 가변 배율만 가능합니다. 5.1 빔 확장기의 역할공식 설명에 따르면 빔 확장기는 다음과 같습니다.빔 성형 광학 시스템레이저 재료 가공용:
| 모델 | 확대 | 설계 파장 | 파장 범위 | 최대 입력 빔 @1/e² | 재료 | 부품 번호 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 빔 확장기 var. 1x-4x 355nm 용융 실리카(스테인리스강 하우징) | 1.0~4.0 | 355nm | 340~360nm | 10.0mm | 용융 실리카 + 스테인레스 스틸 | 4401-613-000-28 |
| 빔 확장기 var. 2x-8x 1064nm | 2.0–8.0 | 1064nm | 1064nm | 8.0mm | 광학 유리 + 흑색 알루마이트 알루미늄 | 4401-256-000-20 |
| 빔 확장기 var. 2x-8x 532nm | 2.0–8.0 | 532nm | 532nm | 8.0mm | 광학 유리 + 흑색 알루마이트 알루미늄 | 4401-257-000-20 |
| 빔 확장기 var. 2x-8x 532nm 용융 실리카 | 2.0–8.0 | 532nm | 515~540nm | 4.0mm | 용융 실리카 입력 렌즈 | 4401-446-000-20 |
| 빔 확장기 var. 2x-8x 1064nm 용융 실리카 | 2.0–8.0 | 1064nm | 1030~1080nm | 6.0mm | 용융 실리카 입력 렌즈 | 4401-359-000-20 |
| 빔 확장기 var. 2x-8x 633/780/830/980nm | 2.0–8.0 | 633nm | 630~980nm | 8.0mm | 광학유리 | 4401-258-000-20 |
| 빔 확장기 var. 2x-8x 355nm 용융 실리카 | 2.0–8.0 | 355nm | 355nm | 3.4mm | 모든 용융 실리카 | 4401-402-000-20 |
일반적인 기계적 매개변수(공식 브로셔):
| 확대 | 파장(nm) | 최대 입력 빔 @1/e²(mm) | 저흡수 코팅 | 부품 번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1x…4x | 340~360 | 8 | — | 4401-596-000-20 / -21 / -22 |
| 1x…4x | 515~540 | 8 | ✓ | 4401-597-000-20 / -21 / -22 |
| 1x…4x | 1030년~1080년 | 8 | ✓ | 4401-598-000-20 / -21 / -22 |
| 2배…8배 | 340~360 | 6 | — | 4401-516-000-20 / -21 / -22 |
| 2배…8배 | 515~540 | 8 | ✓ | 4401-515-000-20 / -21 / -22 |
| 2배…8배 | 1030년~1080년 | 8 | ✓ | 4401-514-000-20 / -21 / -22 |
개별 데이터시트 예(선택 세부 사항 확인용):
| 매개변수 | 4401-596-000-2x(1x-4x, 340–360nm) | 4401-634-000-2x(2x-8x, 340–360nm) |
|---|---|---|
| 렌즈 소재 | 용융 실리카 | 용융 실리카 |
| 기계식 입력 조리개 | 8.7mm | 15.5mm |
| 최대 출력 빔 @1/e² | 25mm(기계식 출력 조리개 31mm) | 30.9mm |
| 포인팅 안정성 | < 0.3mrad | < 0.5mrad |
| 군지연 분산 GDD @λ | 3114fs² | 1906fs² |
| 총 투과율 @340–360 nm | > 96% | > 96% |
| LIDT | 4J/cm² @355nm, 6ns, 100Hz; 0.4J/cm² @343nm, 200fs, 1kHz | 같은 |
| 무게 | 0.90kg | 1.0kg |
공식 포지셔닝:최초의 기성품 저탈가스 표준 UV 빔 확장기, 스테인레스 스틸 하우징과 용융 실리카 광학 장치를 갖추고 있습니다.반도체, 웨이퍼 가공, 전자 디스플레이산업. 공식 보도자료(2024-04-11)와 함께 출시되었습니다.가스 방출이 적은 UV F-Theta Ronar 렌즈(340~360 nm).
| 매개변수 | 값 |
|---|---|
| 배율 범위 | 1x – 4x (연속, 연속 출력 발산 조정 포함) |
| 설계 파장 | 355nm(광대역 코팅 340~360nm) |
| 최대 입력 빔 직경 | 10mm @1/e²; 12mm(잘림) |
| 최대 출력 빔 직경 | 24mm(잘림) |
| 전염 | ≥ 96% @340–360 nm; > 90% @635nm |
| LIDT | 4J/cm² @355nm, 6ns, 100Hz |
| 주택 | 스테인레스 스틸(저가스 배출 설계) |
| 부품 번호 | 4401-613-000-28 |
공식적으로는 필드 렌즈와 빔 확장기가 모두 사용됩니다.교체 가능한 용융 실리카 보호 유리, 출구 측에 보호 유리가 장착되어 어셈블리가 보호됩니다.IP6X먼지 기준. 보호 유리는 별도로 주문됩니다. 예:
| PG 번호 | 직경×두께 | AR코팅밴드 | 부품 번호 |
|---|---|---|---|
| PG14 | 113mm×3mm | 1030~1080 nm, 낮은 흡수율 | 4401-499-005-00 |
| PG16 | 132mm×3mm | 1030~1080 nm, 낮은 흡수율 | 4401-513-006-00 |
| PG11 | 113mm×3mm | 340~380 + 633nm | 4401-481-005-00 |
| PG15 | 113mm×3mm | 340~380 + 633nm | 4401-511-823-00 |
| PG27 | 17.5mm × 1.6mm | 340~380 + 633nm | 4401-516-006-00 |
1단계 - 작업 영역 및 지점 요구 사항 수정
스폿 Ø = 1.83 × λ × FL / 빔 Ø그리고2y = FL × 2Θy × π/180;2단계 - 초점 거리 수정 및 작동 거리 확인
3단계 - 재료 수정(용융 실리카 대 광학 유리)
4단계 - LIDT 확인
5단계 - 빔 확장기가 필요한지 결정
6단계 - 인터페이스, 사전 설정 및 소모품 수정
Fradwell은 초점 거리/파장/스캔 필드별 선택 지원, 데이터시트 확인 및 전 세계 배송을 통해 정품 독일 LINOS 필드 렌즈(F-Theta-Ronar) 및 빔 확장기를 공급합니다.
선택 지원을 위해 레이저 파장, 평균/피크 전력 및 펄스 지속 시간, 대상 스캔 필드, 대상 지점 직경, 작업 거리 제약 조건, 최대 스캔 각도가 있는 스캐너 모델을 보내주십시오.
세 문장으로 된 LINOS 필드 렌즈 및 빔 확장기 선택: