دو آینه یک اسکنر پرتو را به سمت آن منحرف می کندسرعت زاویه ای ثابت. آن پرتو را با یک عدسی کروی ساده متمرکز کنید و لکه‌های لیزری «متراکم در مرکز، پراکنده در لبه‌ها» فرود می‌آیند - هر چه ناحیه کار بزرگتر باشد، انحراف در سرعت خطی لبه و چگالی انرژی بیشتر است.
یک لنز میدانی f-Theta موقعیت نقطه متمرکز را با زاویه اسکن خطی می کند(رابطه "f-theta")، تبدیل سرعت زاویه ای ثابت اسکنر بهسرعت خطی ثابت روی قطعه کاربنابراین اندازه نقطه و چگالی انرژی در کل میدان اسکن یکنواخت می ماند.
دو رابطه محاسباتی رسمی(منبع: بروشور رسمی LINOS، بخش محاسبات پایه):
نقطه-Ø = 1.83 × λ × FL / پرتو-Ø
2y = FL × 2Θy × π/180،2x = FL × 2Θx × π/180
| FL اسمی (mm) | فیلد اسکن (mm) | حداکثر زاویه اسکن ±Θx,y (°) | پرتو ورودی Ø @1/e² (mm) | نقطه @1/e² (μm) | فاصله کاری WD (mm) | شیشه محافظ | شماره قطعه |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 70 (تله مرکزی) | 26 × 26 | ± 10.9 | 14 | 10 | 87.5 | PG22 | 4401-551-000-26 |
| 100 (از راه دور) | 44 × 44 | 12.2 ± | 14 | 15 | 137.0 | PG14 | 4401-561-000-26 |
| 118 (تله مرکزی) | 50 × 50 | 15.5 ± | 14 | 17 | 233.9 | PG14 | 4401-607-000-26 |
| 163 | 85 × 85 | 15.2 ± | 14 | 23 | 219.3 | PG14 | 4401-589-000-26 |
| 167 (تله مرکزی) | 84 × 84 | 14.9 ± | 20 | 16 | 215.4 | PG16 | 4401-513-000-26 |
| 251 (تله مرکزی) | 63 × 63 | 14.4 ± | 20 | 25 | 372.3 | PG16 | 4401-631-000-26 |
| 255 | 187 × 187 | 21.3 ± | 10 | 50 | 317.4 | PG14 | 4401-499-000-26 |
| 270 | 136 × 136 | 14.8 ± | 20 | 27 | 352.0 | PG16 | 4401-604-000-26 |
| 340 | 176 × 176 | 15.1 ± | 20 | 33 | 441.6 | PG16 | 4401-546-000-26 |
| 420 | 254 × 254 | 17.3 ± | 20 | 42 | 510.9 | PG14 | 4401-508-000-26 |
| FL اسمی (mm) | فیلد اسکن (mm) | حداکثر زاویه اسکن ±Θx,y (°) | پرتو ورودی Ø @1/e² (mm) | نقطه @1/e² (μm) | فاصله کاری WD (mm) | شیشه محافظ | شماره قطعه |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 70 (تله مرکزی) | 28 × 28 | 11.3 ± | 10 | 5 | 92.5 | PG4 | 4401-576-000-21 |
| 100 (از راه دور) | 46 × 46 | 12.7 ± | 10 | 7 | 136.7 | PG11 | 4401-509-000-21 |
| 160 | 98 × 98 | 17.7 ± | 7 | 15 | 197.4 | PG4 | 4401-399-000-21 |
| 167 (تله مرکزی) | 65 × 65 | 11.3 ± | 10 | 13 | 255.0 | PG15 | 4401-511-000-21 |
| 255 | 170 × 170 | 19.3 ± | 10 | 17 | 318.1 | PG11 | 4401-481-000-21 |
| مواد | باندهای پوشیده شده | محدوده فاصله کانونی |
|---|---|---|
| شیشه نوری | 532-1064 نانومتر | 100-420 میلی متر |
| سیلیس ذوب شده | 340–360 / 440–460 / 515–540 / 1030–1080 / 1900–2000 نانومتر | بستگی به باند دارد (به عنوان مثال 265/354/437 میلی متر در باند 1900-2000 نانومتر) |
توضیحات رسمی نسخه های دور مرکزی:حداکثر میدان اسکن از دیافراگم لنز تجاوز نمی کند، اماگردی نقطه و زاویه تابش در کل میدان اسکن ثابت می ماند.
| مورد | غیر از راه دور (استاندارد) | دور مرکزی |
|---|---|---|
| اسکن فیلد برای یک FL معین | بزرگتر (به عنوان مثال 255 میلی متر → 187 × 187 میلی متر) | کوچکتر (به عنوان مثال 251 میلی متر → 63 × 63 میلی متر) |
| گردی را در سراسر زمین مشاهده کنید | دور از مرکز متفاوت است | ثابت |
| زاویه تابش در سراسر میدان | با موقعیت متفاوت است | ثابت |
| تناسب معمولی | علامت گذاری، پردازش عمومی، حداکثر مساحت | حفاری دقیق، ریزماشین کاری، از طریق مخروطی/عمود، قطعات چند لایه یا پلکانی |
طبق توضیحات فنی رسمی:
| مورد | ارزش |
|---|---|
| لنز میدان سیلیس ذوب شده @1064 نانومتر، 12 ns، 100 هرتز | 40 J/cm² |
| لنز میدان سیلیس ذوب شده @1030 نانومتر، 291 fs، 5 کیلوهرتز | 0.9 J/cm² |
| لنز میدانی شیشه ای نوری @1064 نانومتر، 9 ns، 100 هرتز | 10 J/cm² |
| بسط دهنده پرتو، لنز ورودی سیلیس ذوب شده 1064 نانومتری، 9 ns | 30 J/cm² |
| گسترش دهنده پرتو، سیلیس ذوب شده 355 نانومتر، 5 نانو ثانیه | 5 J/cm² |
چرا اهمیت دارد:مقادیر LIDT پالس کوتاه (فمتوثانیه/پیکوثانیه) با مقادیر نانوثانیه دو مرتبه قدر متفاوت است (0.9 J/cm² در مقابل 40 J/cm²).انتخاب اپتیک در برابر آستانه نانوثانیه برای فرآیند فمتوثانیه یک منبع کلاسیک آسیب آبشاری است.
5. بسط دهنده پرتو: خط رسمی فقط بزرگنمایی متغیر پیوسته است 5.1 کاری که یک بسط دهنده پرتو انجام می دهدطبق توضیحات رسمی، گسترش دهنده های پرتو هستندسیستم های نوری شکل دهنده پرتوبرای پردازش مواد لیزری:
| مدل | بزرگنمایی | طول موج طراحی | محدوده طول موج | حداکثر پرتو ورودی @1/e² | مواد | شماره قطعه |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Beam-Expander var. سیلیس ذوب شده 1x-4x355 نانومتر (محفظه فولاد ضد زنگ) | 1.0-4.0 | 355 نانومتر | 340-360 نانومتر | 10.0 میلی متر | سیلیس ذوب شده + فولاد ضد زنگ | 4401-613-000-28 |
| Beam-Expander var. 2x-8x 1064 نانومتر | 2.0-8.0 | 1064 نانومتر | 1064 نانومتر | 8.0 میلی متر | شیشه نوری + آلومینیوم آنودایز مشکی | 4401-256-000-20 |
| Beam-Expander var. 2x-8x532 نانومتر | 2.0-8.0 | 532 نانومتر | 532 نانومتر | 8.0 میلی متر | شیشه نوری + آلومینیوم آنودایز مشکی | 4401-257-000-20 |
| Beam-Expander var. سیلیس ذوب شده 2x-8x532 نانومتر | 2.0-8.0 | 532 نانومتر | 515-540 نانومتر | 4.0 میلی متر | لنز ورودی سیلیس ذوب شده | 4401-446-000-20 |
| Beam-Expander var. سیلیس ذوب شده 2x-8x1064 نانومتر | 2.0-8.0 | 1064 نانومتر | 1030-1080 نانومتر | 6.0 میلی متر | لنز ورودی سیلیس ذوب شده | 4401-359-000-20 |
| Beam-Expander var. 2x-8x 633/780/830/980 نانومتر | 2.0-8.0 | 633 نانومتر | 630-980 نانومتر | 8.0 میلی متر | شیشه نوری | 4401-258-000-20 |
| Beam-Expander var. سیلیس ذوب شده 2x-8x355 نانومتر | 2.0-8.0 | 355 نانومتر | 355 نانومتر | 3.4 میلی متر | تمام سیلیس ذوب شده | 4401-402-000-20 |
پارامترهای مکانیکی رایج (بروشور رسمی):
| بزرگنمایی | طول موج (nm) | حداکثر پرتو ورودی @1/e² (mm) | پوشش کم جذب | شماره قطعات |
|---|---|---|---|---|
| 1x…4x | 340–360 | 8 | - | 4401-596-000-20 / -21 / -22 |
| 1x…4x | 515–540 | 8 | ✓ | 4401-597-000-20 / -21 / -22 |
| 1x…4x | 1030-1080 | 8 | ✓ | 4401-598-000-20 / -21 / -22 |
| 2x…8x | 340–360 | 6 | - | 4401-516-000-20 / -21 / -22 |
| 2x…8x | 515–540 | 8 | ✓ | 4401-515-000-20 / -21 / -22 |
| 2x…8x | 1030-1080 | 8 | ✓ | 4401-514-000-20 / -21 / -22 |
نمونه های برگه داده فردی (برای تأیید جزئیات انتخاب):
| پارامتر | 4401-596-000-2x (1x-4x، 340-360 نانومتر) | 4401-634-000-2x (2x-8x، 340-360 نانومتر) |
|---|---|---|
| مواد لنز | سیلیس ذوب شده | سیلیس ذوب شده |
| دیافراگم ورودی مکانیکی | 8.7 میلی متر | 15.5 میلی متر |
| حداکثر پرتو خروجی @1/e² | 25 میلی متر (دیافراگم خروجی مکانیکی 31 میلی متر) | 30.9 میلی متر |
| اشاره به ثبات | < 0.3 میلی گرم | < 0.5 میلی گرم |
| پراکندگی تاخیر گروهی GDD @λ | 3114 fs² | 1906 fs² |
| انتقال کل @340–360 نانومتر | > 96 درصد | > 96 درصد |
| LIDT | 4 J/cm² @355 نانومتر، 6 ns، 100 هرتز؛ 0.4 J/cm² @343 نانومتر، 200 fs، 1 کیلوهرتز | همان |
| وزن | 0.90 کیلوگرم | 1.0 کیلوگرم |
موقعیت رسمی:اولین منبسط کننده پرتو UV استاندارد با گاز خروجی کم، با بدنه فولادی ضد زنگ و اپتیک سیلیس ذوب شده، هدف قرار گرفته استنیمه هادی، پردازش ویفر و نمایشگر الکترونیکیصنایع بیانیه مطبوعاتی رسمی (11-04-2024) آن را همراه بالنز UV F-Theta Ronar کم خروجی (340–360 نانومتر).
| پارامتر | ارزش |
|---|---|
| محدوده بزرگنمایی | 1x - 4x (پیوسته، از جمله تنظیم واگرایی خروجی پیوسته) |
| طول موج طراحی | 355 نانومتر (پوشش پهن باند 340-360 نانومتر) |
| حداکثر قطر پرتو ورودی | 10 میلی متر @1/e²؛ 12 میلی متر (قطع شده) |
| حداکثر قطر پرتو خروجی | 24 میلی متر (قطع شده) |
| انتقال | ≥ 96٪ @340-360 نانومتر؛ > 90 % @635 نانومتر |
| LIDT | 4 J/cm² @355 نانومتر، 6 ns، 100 هرتز |
| مسکن | فولاد ضد زنگ (طراحی کم خروج گاز) |
| شماره قطعه | 4401-613-000-28 |
به طور رسمی، هم از لنزهای میدانی و هم از بسط دهنده های پرتو استفاده می شودشیشه محافظ سیلیس ذوب شده قابل تعویض، و با شیشه محافظ نصب شده در سمت خروجی، مجموعه محافظت می شودIP6Xاستانداردهای گرد و غبار شیشه محافظ جداگانه سفارش داده می شود، به عنوان مثال:
| شماره PG | قطر × ضخامت | نوار پوشش AR | شماره قطعه |
|---|---|---|---|
| PG14 | 113 میلی متر × 3 میلی متر | 1030-1080 نانومتر، جذب کم | 4401-499-005-00 |
| PG16 | 132 میلی متر × 3 میلی متر | 1030-1080 نانومتر، جذب کم | 4401-513-006-00 |
| PG11 | 113 میلی متر × 3 میلی متر | 340-380 + 633 نانومتر | 4401-481-005-00 |
| PG15 | 113 میلی متر × 3 میلی متر | 340-380 + 633 نانومتر | 4401-511-823-00 |
| PG27 | 17.5 × 1.6 میلی متر | 340-380 + 633 نانومتر | 4401-516-006-00 |
مرحله 1 - محل کار و نیاز نقطه را ثابت کنید
نقطه-Ø = 1.83 × λ × FL / پرتو-Øو2y = FL × 2Θy × π/180;مرحله 2 - فاصله کانونی را ثابت کنید و فاصله کاری را بررسی کنید
مرحله 3 - مواد را ثابت کنید (سیلیکا ذوب شده در مقابل شیشه نوری)
مرحله 4 - تأیید LIDT
مرحله 5 - تصمیم بگیرید که آیا به یک گسترش دهنده پرتو نیاز دارید یا خیر
مرحله 6 - رابط ها، تنظیمات از پیش تعیین شده و مواد مصرفی را تعمیر کنید
Fradwell لنزهای درست آلمانی LINOS (F-Theta-Ronar) و بسط دهنده پرتو را با پشتیبانی از انتخاب با فاصله کانونی / طول موج / میدان اسکن، تأیید برگه داده و ارسال به سراسر جهان ارائه می کند:
برای پشتیبانی از انتخاب، برای ما ارسال کنید: طول موج لیزر، میانگین/پیک توان و مدت پالس، میدان اسکن هدف، قطر نقطه هدف، محدودیت‌های فاصله کاری، و مدل اسکنر با حداکثر زاویه اسکن.
انتخاب لنز میدان LINOS و بسط دهنده پرتو در سه جمله: