กระจกสองบานของเครื่องสแกนจะหันเหแสงไปที่ความเร็วเชิงมุมคงที่. โฟกัสลำแสงนั้นด้วยเลนส์ทรงกลมธรรมดาและจุดเลเซอร์จะ "หนาแน่นตรงกลาง และเบาบางที่ขอบ" ยิ่งพื้นที่ทำงานใหญ่ขึ้น ความเบี่ยงเบนของความเร็วเชิงเส้นของขอบและความหนาแน่นของพลังงานก็จะมากขึ้นตามไปด้วย
เลนส์ฟิลด์ f-Theta ทำให้ตำแหน่งจุดที่โฟกัสเป็นเส้นตรงกับมุมสแกน(ความสัมพันธ์ "f-theta") โดยแปลงความเร็วเชิงมุมคงที่ของเครื่องสแกนเป็นความเร็วเชิงเส้นคงที่บนชิ้นงานดังนั้นขนาดจุดและความหนาแน่นของพลังงานจึงมีความสม่ำเสมอทั่วทั้งฟิลด์การสแกน
ความสัมพันธ์ทางการคำนวณทั้งสองอย่างเป็นทางการ(ที่มา: โบรชัวร์อย่างเป็นทางการของ LINOS ส่วนการคำนวณพื้นฐาน):
จุด-Ø = 1.83 × แลมบ์ × FL / ลำแสง-Ø
2y = FL × 2Θy × π/180,2x = FL × 2Θx × π/180
| ที่กำหนด FL (มม.) | ฟิลด์สแกน (มม.) | มุมสแกนสูงสุด ±Θx,y (°) | ลำแสงอินพุต Ø @1/e² (มม.) | สปอต @1/e² (ไมโครเมตร) | ระยะการทำงาน WD (มม.) | กระจกป้องกัน | หมายเลขชิ้นส่วน |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 70 (เทเลเซนตริก) | 26 × 26 | ±10.9 | 14 | 10 | 87.5 | PG22 | 4401-551-000-26 |
| 100 (เทเลเซนตริก) | 44 × 44 | ±12.2 | 14 | 15 | 137.0 | PG14 | 4401-561-000-26 |
| 118 (เทเลเซนตริก) | 50 × 50 | ±15.5 | 14 | 17 | 233.9 | PG14 | 4401-607-000-26 |
| 163 | 85 × 85 | ±15.2 | 14 | 23 | 219.3 | PG14 | 4401-589-000-26 |
| 167 (เทเลเซนตริก) | 84 × 84 | ±14.9 | 20 | 16 | 215.4 | PG16 | 4401-513-000-26 |
| 251 (เทเลเซนตริก) | 63 × 63 | ±14.4 | 20 | 25 | 372.3 | PG16 | 4401-631-000-26 |
| 255 | 187 × 187 | ±21.3 | 10 | 50 | 317.4 | PG14 | 4401-499-000-26 |
| 270 | 136 × 136 | ±14.8 | 20 | 27 | 352.0 | PG16 | 4401-604-000-26 |
| 340 | 176 × 176 | ±15.1 | 20 | 33 | 441.6 | PG16 | 4401-546-000-26 |
| 420 | 254 × 254 | ±17.3 | 20 | 42 | 510.9 | PG14 | 4401-508-000-26 |
| ที่กำหนด FL (มม.) | ฟิลด์สแกน (มม.) | มุมสแกนสูงสุด ±Θx,y (°) | ลำแสงอินพุต Ø @1/e² (มม.) | สปอต @1/e² (ไมโครเมตร) | ระยะการทำงาน WD (มม.) | กระจกป้องกัน | หมายเลขชิ้นส่วน |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 70 (เทเลเซนตริก) | 28 × 28 | ±11.3 | 10 | 5 | 92.5 | PG4 | 4401-576-000-21 |
| 100 (เทเลเซนตริก) | 46 × 46 | ±12.7 | 10 | 7 | 136.7 | PG11 | 4401-509-000-21 |
| 160 | 98 × 98 | ±17.7 | 7 | 15 | 197.4 | PG4 | 4401-399-000-21 |
| 167 (เทเลเซนตริก) | 65 × 65 | ±11.3 | 10 | 13 | 255.0 | PG15 | 4401-511-000-21 |
| 255 | 170 × 170 | ±19.3 | 10 | 17 | 318.1 | PG11 | 4401-481-000-21 |
| วัสดุ | วงครอบคลุม | ช่วงทางยาวโฟกัส |
|---|---|---|
| แก้วแสง | 532–1,064 นาโนเมตร | 100–420 มม |
| ซิลิกาผสม | 340–360 / 440–460 / 515–540 / 1030–1080 / 1900–2000 นาโนเมตร | ขึ้นอยู่กับวงดนตรี (เช่น 265 / 354 / 437 มม. ในย่าน 1900–2000 นาโนเมตร) |
คำอธิบายอย่างเป็นทางการของเวอร์ชัน Telecentric:ช่องสแกนสูงสุดจะต้องไม่เกินรูรับแสงของเลนส์, แต่ความกลมของจุดและมุมตกกระทบยังคงที่ตลอดทั้งพื้นที่สแกน.
| รายการ | ไม่ใช่เทเลเซนตริก (มาตรฐาน) | เทเลเซนตริก |
|---|---|---|
| สแกนฟิลด์สำหรับ FL ที่กำหนด | ใหญ่กว่า (เช่น 255 มม. → 187 × 187 มม.) | เล็กกว่า (เช่น 251 มม. → 63 × 63 มม.) |
| มองเห็นความกลมทั่วทั้งสนาม | แตกต่างจากศูนย์กลาง | คงที่ |
| มุมตกกระทบทั่วทั้งสนาม | แตกต่างกันไปตามตำแหน่ง | คงที่ |
| พอดีทั่วไป | การมาร์ก การประมวลผลทั่วไป พื้นที่สูงสุด | การเจาะที่แม่นยำ การตัดเฉือนขนาดเล็ก ผ่านทางเทเปอร์/ตั้งฉาก ชิ้นส่วนหลายชั้นหรือขั้นบันได |
ตามคำอธิบายทางเทคนิคอย่างเป็นทางการ:
| กรณี | ค่า |
|---|---|
| เลนส์ฟิลด์ซิลิกาผสม @1064 nm, 12 ns, 100 Hz | 40 จูล/ซม.² |
| เลนส์ฟิลด์ซิลิกาผสม @1030 nm, 291 fs, 5 kHz | 0.9 เจ/ซม.² |
| เลนส์สนามแก้วแสง @ 1,064 นาโนเมตร, 9 ns, 100 Hz | 10 จูล/ซม.² |
| ตัวขยายลำแสง, เลนส์อินพุตซิลิกาผสม 1064 นาโนเมตร, 9 ns | 30 จูล/ซม.² |
| เครื่องขยายลำแสง, ซิลิกาผสม 355 นาโนเมตร, 5 ns | 5 เจ/ตร.ซม |
เหตุใดจึงสำคัญ:ค่า LIDT แบบพัลส์สั้น (เฟมโตวินาที/พิโควินาที) แตกต่างจากค่านาโนวินาทีด้วยขนาดสองลำดับ (0.9 J/cm² เทียบกับ 40 J/cm²)การเลือกเลนส์เทียบกับเกณฑ์นาโนวินาทีสำหรับกระบวนการเฟมโตวินาทีถือเป็นแหล่งที่มาของความเสียหายแบบเรียงซ้อนแบบคลาสสิก
5. เครื่องขยายลำแสง: เส้นอย่างเป็นทางการคือการขยายแบบแปรผันต่อเนื่องเท่านั้น 5.1 เครื่องขยายลำแสงทำหน้าที่อะไรตามคำอธิบายอย่างเป็นทางการ มีตัวขยายลำแสงระบบออปติคอลสร้างลำแสงสำหรับการแปรรูปวัสดุด้วยเลเซอร์:
| แบบอย่าง | กำลังขยาย | ความยาวคลื่นการออกแบบ | ช่วงความยาวคลื่น | ลำแสงอินพุตสูงสุด @1/e² | วัสดุ | หมายเลขชิ้นส่วน |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Beam-Expander รุ่น ซิลิกาผสม 1x-4x 355 นาโนเมตร (ตัวเรือนสแตนเลส) | 1.0–4.0 | 355 นาโนเมตร | 340–360 นาโนเมตร | 10.0 มม | ซิลิกาผสม + สแตนเลส | 4401-613-000-28 |
| Beam-Expander รุ่น 2x-8x 1,064 นาโนเมตร | 2.0–8.0 | 1,064 นาโนเมตร | 1,064 นาโนเมตร | 8.0 มม | กระจกออฟติคอล + อลูมิเนียมอโนไดซ์สีดำ | 4401-256-000-20 |
| Beam-Expander รุ่น 2x-8x 532 นาโนเมตร | 2.0–8.0 | 532 นาโนเมตร | 532 นาโนเมตร | 8.0 มม | กระจกออฟติคอล + อลูมิเนียมอโนไดซ์สีดำ | 4401-257-000-20 |
| Beam-Expander รุ่น ซิลิกาผสม 2x-8x 532 นาโนเมตร | 2.0–8.0 | 532 นาโนเมตร | 515–540 นาโนเมตร | 4.0 มม | เลนส์อินพุตซิลิกาผสม | 4401-446-000-20 |
| Beam-Expander รุ่น ซิลิกาผสม 2x-8x 1,064 นาโนเมตร | 2.0–8.0 | 1,064 นาโนเมตร | 1,030–1,080 นาโนเมตร | 6.0 มม | เลนส์อินพุตซิลิกาผสม | 4401-359-000-20 |
| Beam-Expander รุ่น 2x-8x 633/780/830/980 นาโนเมตร | 2.0–8.0 | 633 นาโนเมตร | 630–980 นาโนเมตร | 8.0 มม | แก้วแสง | 4401-258-000-20 |
| Beam-Expander รุ่น ซิลิกาผสม 2x-8x 355 นาโนเมตร | 2.0–8.0 | 355 นาโนเมตร | 355 นาโนเมตร | 3.4 มม | ซิลิกาหลอมรวมทั้งหมด | 4401-402-000-20 |
พารามิเตอร์ทางกลทั่วไป (โบรชัวร์อย่างเป็นทางการ):
| กำลังขยาย | ความยาวคลื่น (นาโนเมตร) | ลำแสงอินพุตสูงสุด @1/e² (มม.) | การเคลือบแบบดูดซับต่ำ | หมายเลขชิ้นส่วน |
|---|---|---|---|---|
| 1x…4x | 340–360 | 8 | — | 4401-596-000-20 / -21 / -22 |
| 1x…4x | 515–540 | 8 | ✓ | 4401-597-000-20 / -21 / -22 |
| 1x…4x | 1030–1080 | 8 | ✓ | 4401-598-000-20 / -21 / -22 |
| 2x…8x | 340–360 | 6 | — | 4401-516-000-20 / -21 / -22 |
| 2x…8x | 515–540 | 8 | ✓ | 4401-515-000-20 / -21 / -22 |
| 2x…8x | 1030–1080 | 8 | ✓ | 4401-514-000-20 / -21 / -22 |
ตัวอย่างเอกสารข้อมูลบุคคล (สำหรับตรวจสอบรายละเอียดการเลือก):
| พารามิเตอร์ | 4401-596-000-2x (1x-4x, 340–360 นาโนเมตร) | 4401-634-000-2x (2x-8x, 340–360 นาโนเมตร) |
|---|---|---|
| วัสดุเลนส์ | ซิลิกาผสม | ซิลิกาผสม |
| รูรับแสงอินพุตเชิงกล | 8.7 มม | 15.5 มม |
| ลำแสงเอาท์พุตสูงสุด @1/e² | 25 มม. (รูรับแสงเอาท์พุตกลไก 31 มม.) | 30.9 มม |
| ชี้ความมั่นคง | < 0.3 ม | < 0.5 ม |
| การกระจายตัวล่าช้าของกลุ่ม GDD @ แล | 3114 เอฟเอส² | พ.ศ. 2449 ฟส² |
| การส่งผ่านทั้งหมด @ 340–360 นาโนเมตร | > 96 % | > 96 % |
| ฝาปิด | 4 J/cm² @355 นาโนเมตร, 6 ns, 100 เฮิรตซ์; 0.4 J/cm² @343 นาโนเมตร, 200 fs, 1 kHz | เดียวกัน |
| น้ำหนัก | 0.90 กก | 1.0 กก |
ตำแหน่งอย่างเป็นทางการ: theเครื่องขยายลำแสง UV มาตรฐานที่ปล่อยแก๊สต่ำตัวแรกที่มีจำหน่ายทั่วไปโดยมีตัวเรือนสเตนเลสสตีลและเลนส์ซิลิกาหลอมรวม มุ่งเป้าไปที่สารกึ่งตัวนำ การประมวลผลเวเฟอร์ และจอแสดงผลอิเล็กทรอนิกส์อุตสาหกรรม ข่าวประชาสัมพันธ์อย่างเป็นทางการ (2024-04-11) เปิดตัวพร้อมกับเลนส์ UV F-Theta Ronar ที่ปล่อยก๊าซต่ำ (340–360 นาโนเมตร).
| พารามิเตอร์ | ค่า |
|---|---|
| ช่วงการขยาย | 1x – 4x (ต่อเนื่อง รวมถึงการปรับค่าไดเวอร์เจนต์เอาต์พุตอย่างต่อเนื่อง) |
| ความยาวคลื่นการออกแบบ | 355 นาโนเมตร (การเคลือบบรอดแบนด์ 340–360 นาโนเมตร) |
| เส้นผ่านศูนย์กลางลำแสงอินพุตสูงสุด | 10 มม. @1/e²; 12 มม. (ตัดทอน) |
| เส้นผ่านศูนย์กลางลำแสงเอาต์พุตสูงสุด | 24 มม. (ตัดทอน) |
| การแพร่เชื้อ | ≥ 96 % @340–360 นาโนเมตร; > 90 % @635 นาโนเมตร |
| ฝาปิด | 4 J/cm² @355 นาโนเมตร, 6 ns, 100 Hz |
| ที่อยู่อาศัย | สแตนเลส (การออกแบบที่ปล่อยก๊าซต่ำ) |
| หมายเลขชิ้นส่วน | 4401-613-000-28 |
อย่างเป็นทางการทั้งเลนส์สนามและตัวขยายลำแสงใช้กระจกป้องกันซิลิกาหลอมละลายแบบถอดเปลี่ยนได้และเมื่อติดตั้งกระจกป้องกันไว้ที่ด้านทางออกแล้ว ส่วนประกอบก็จะได้รับการปกป้องIP6Xมาตรฐานฝุ่น กระจกป้องกันสั่งซื้อแยกต่างหาก เช่น:
| หมายเลขพีจี | เส้นผ่านศูนย์กลาง×ความหนา | แถบเคลือบ AR | หมายเลขชิ้นส่วน |
|---|---|---|---|
| PG14 | 113 มม. × 3 มม | 1,030–1,080 นาโนเมตร การดูดซึมต่ำ | 4401-499-005-00 |
| PG16 | 132 มม. × 3 มม | 1,030–1,080 นาโนเมตร การดูดซึมต่ำ | 4401-513-006-00 |
| PG11 | 113 มม. × 3 มม | 340–380 + 633 นาโนเมตร | 4401-481-005-00 |
| PG15 | 113 มม. × 3 มม | 340–380 + 633 นาโนเมตร | 4401-511-823-00 |
| PG27 | 17.5 มม. × 1.6 มม | 340–380 + 633 นาโนเมตร | 4401-516-006-00 |
ขั้นตอนที่ 1 — แก้ไขพื้นที่ทำงานและข้อกำหนดจุด
จุด-Ø = 1.83 × แลมบ์ × FL / ลำแสง-Øและ2y = FL × 2Θy × π/180;ขั้นตอนที่ 2 — แก้ไขทางยาวโฟกัสและตรวจสอบระยะการทำงาน
ขั้นตอนที่ 3 — แก้ไขวัสดุ (ซิลิกาหลอมรวมกับแก้วแสง)
ขั้นตอนที่ 4 — ตรวจสอบ LIDT
ขั้นตอนที่ 5 — ตัดสินใจว่าคุณต้องการเครื่องขยายลำแสงหรือไม่
ขั้นตอนที่ 6 — แก้ไขอินเทอร์เฟซ ค่าที่ตั้งล่วงหน้า และวัสดุสิ้นเปลือง
Fradwell จำหน่ายเลนส์สนาม LINOS ดั้งเดิมของเยอรมัน (F-Theta-Ronar) และเครื่องขยายลำแสง พร้อมการสนับสนุนการเลือกตามความยาวโฟกัส / ความยาวคลื่น / สนามสแกน การตรวจสอบเอกสารข้อมูล และการจัดส่งทั่วโลก: