LINOS F-Theta-Ronar عدسات المجال وموسعات الحزمة 2026: كيفية اختيار البعد البؤري ومطابقة الموسعات الماسح الضوئي الخاص بك

تقوم مرآتا الماسح الضوئي بتحريف الشعاع نحوالسرعة الزاوية الثابتة. قم بتركيز هذا الشعاع باستخدام عدسة كروية عادية وتهبط بقع الليزر "كثيفة في المركز ومتناثرة عند الحواف" - كلما زادت مساحة العمل، زاد الانحراف في السرعة الخطية للحافة وكثافة الطاقة.

تعمل عدسة مجال f-Theta على جعل موضع التركيز البؤري خطيًا مع زاوية المسح(العلاقة "f-theta")، لتحويل السرعة الزاوية الثابتة للماسح الضوئي إلىالسرعة الخطية الثابتة على قطعة العمل، لذا يظل حجم البقعة وكثافة الطاقة موحدين عبر مجال المسح بأكمله.

العلاقتان الحسابيتان الرسميتان(المصدر: كتيب LINOS الرسمي، قسم الحسابات الأساسية):

• قطر البقعة: Spot-Ø = 1.83 × LA × FL / Beam-Ø
  • حيث 1.83 هو عامل apodization، α هو الطول الموجي، FL هو الطول البؤري (مم)، وBeam-Ø هو قطر شعاع الإدخال (مم)
• طول المسح: 2y = فلوريدا × 2Θy × π/180,2x = فلوريدا × 2Θx × π/180
  • حيث FL هو البعد البؤري (مم) وΘx، Θy هي زوايا المسح (°)

الوصف الرسمي للإصدارات telecentric:الحد الأقصى لمجال المسح لا يتجاوز فتحة العدسة، لكنتظل استدارة البقعة وزاوية الإصابة ثابتة عبر مجال المسح بأكمله.

وفقًا للتفسيرات الفنية الرسمية:

• طلاء منخفض الامتصاص:بصريات السيليكا المنصهرة في400-1080 نانومتريتم شحن المجموعة بطبقة طلاء منخفضة الامتصاص من الشركة المصنعة بشكل قياسي -
  • امتصاص≥ 20 جزء في المليون عند 1064 نانومتر(عادة أفضل من 10 جزء في المليون)
  • امتصاص≥ 30 جزء في المليون عند 532 نانومتر(عادة أفضل من 15 جزء في المليون)
  • قاعدة التعريف: عدسات السيليكا المندمجة التي ينتهي رقم الجزء الخاص بها بـ "-26" تحمل هذا الطلاء
• عمليات الطلاءتغطية الأشعة فوق البنفسجية / VIS / NIR، من الترسيب التقليدي حتىشعاع الأيون الاخرق;
• الطلاءات ذات الزاوية المثاليةتستخدم لتحقيق ممتازة وزي مُوحدالإرسال عبر مجال المسح بأكمله؛
• اختبار عتبة الضرر:يتم قياس جميع الطلاءات لكلدين إن إسو 11254-2باستخدام طريقة النبضات المتعددة (S-on-1)؛
• تحول التركيز الحراريتتم مواجهتها، وفقًا للوثائق الرسمية، باستخدام مواد منخفضة الامتصاص (السيليكا المصهورة عالية الجودة المختارة خصيصًا) بالإضافة إلى الطلاءات منخفضة الامتصاص، والتي تتم مراقبتها دفعةً تلو الأخرى باستخدام معدات قياس الامتصاص الداخلية الخاصة بالشركة المصنعة.

لماذا يهم:تختلف قيم LIDT ذات النبض القصير (الفيمتو ثانية / البيكو ثانية) عن قيم النانو ثانية بأمرين من حيث الحجم (0.9 جول / سم ² مقابل 40 جول / سم ²).يعد اختيار البصريات مقابل عتبة النانو ثانية لعملية الفيمتو ثانية مصدرًا كلاسيكيًا للضرر المتتالي.

وفقًا للوصف الرسمي، فإن موسعات الشعاع هيالأنظمة البصرية لتشكيل الشعاعلمعالجة المواد بالليزر:

• همتغيير قطر الشعاع والتباعد في وقت واحد، الأمثلقطر النقطة البؤرية، والموضع البؤري، وخصائص انتشار الشعاع;
• عن طريق تغيير اختلاف شعاع الإدخال، يمكنهم ذلكاضبط البعد البؤري الخلفي لعدسات المجال F-Theta-Ronar / Focus-Ronar;
• يمكن استخدام جميع موسعات شعاع LINOS في الاتجاه المعاكس كمخفضات شعاع;
• توصي الوثائق الرسمية صراحةً بإقرانها بـعدسات LINOS F-Theta-Ronar الميدانية.

المعلمات الميكانيكية المشتركة (الكتيب الرسمي):

• الحد الأقصى لقطر شعاع الإخراج الميكانيكي:31 ملم
• الحد الأقصى للطول:165.5 ملم(بما في ذلك السفر لتصحيح التباعد)
• الحد الأقصى للقطر الخارجي:Ø 42.0 ملم; قطر التركيبØ 37.6 −0.1 ملم(وجه المرجع أ)
• الحد الأقصى المسموح به لانحراف زاوية الإدخال:0.2 درجة (بدون التظليل); يتم تضخيم إمالة شعاع الإخراج بواسطةعكس التكبير
• التقريب الرسمي:الحد الأقصى لقطر شعاع الإدخال = 31 مم ÷ التكبير(التكبير الأعلى يسمح بفتحة إدخال أصغر)

• متغير مستمر1x…4xو2x…8x; عصابات الطول الموجي340–360 نانومتر / 515–540 نانومتر / 1030–1080 نانومتر;جميع تصميمات السيليكا المنصهرة;
• الحد الأقصى لقطر شعاع الإدخالما يصل إلى 8 ملم;الحد الأقصى للإخراج الميكانيكي 31 ملم;
• 10 إعدادات مسبقة مستقلة(التكبير والتباعد)؛ صرح رسميًا بالتمكينتبديل التكبير التلقائي الذي يقلل من وقت إعداد الجهازبينماالحفاظ على فئة سلامة الليزر أثناء التعديل;
• واجهات:SubD9/RS232، USB 2.0، فينيكس كونتاكت/RS232; قاعدة لاحقة رقم الجزء−20 = SubD9/RS232، −21 = Phoenix Contact/RS232، −22 = USB 2.0;
• معدل الباود 9600 بت/ثانية؛ إمداد7-12 فولت(7-24 فولت لواجهة Phoenix Contact)؛ متوافق مع CE / RoHS؛إب 20; برنامج التحكم في نظام التشغيل Windows (Win10).

أمثلة على ورقة البيانات الفردية (للتحقق من تفاصيل الاختيار):

الموقع الرسمي:أول موسع شعاع فوق بنفسجي قياسي منخفض إطلاق الغازات جاهز للاستخدام، مع غلاف من الفولاذ المقاوم للصدأ وبصريات السيليكا المنصهرة، تهدف إلىأشباه الموصلات، ومعالجة الرقائق، والعرض الإلكترونيالصناعات. أطلقه البيان الصحفي الرسمي (2024-04-11) مععدسة UV F-Theta Ronar منخفضة إطلاق الغازات (340–360 نانومتر).

رسميًا، يتم استخدام كل من العدسات الميدانية وموسعات الشعاعزجاج واقي من السيليكا المنصهر القابل للاستبدالومع الزجاج الواقي المثبت على جانب الخروج، يتم حماية المجموعةIP6Xمعايير الغبار يتم طلب الزجاج الواقي بشكل منفصل، على سبيل المثال:

الخطوة 1 - إصلاح منطقة العمل ومتطلبات البقعة

• العمل إلى الوراء مع الصيغ الرسمية:Spot-Ø = 1.83 × LA × FL / Beam-Øو2y = فلوريدا × 2Θy × π/180;
• تذكر أن زاوية المسح محدودة بالماسح الضوئي نفسه (يختلف الحد الأقصى لزوايا المسح حسب الطراز - تحقق من ورقة بيانات الماسح الضوئي).

الخطوة 2 - إصلاح البعد البؤري والتحقق من مسافة العمل

• اختر الأطوال البؤرية المرشحة من الجداول الموجودة في القسم 2 وقراءة مسافة العمل WD في نفس الوقت— يؤدي عدم كفاية WD إلى حدوث تعطل في قطعة العمل ويتم تجاهله في كثير من الأحيان أكثر من الحجم الموضعي.

الخطوة 3 - تثبيت المادة (السيليكا المنصهرة مقابل الزجاج البصري)

• الطول الموجي في 340–360 / 440–460 / 515–540 / 1030–1080 / 1900–2000 نانومتر → سلسلة السيليكا المنصهرة؛
• 532-1064 نانومتر بالطاقة التقليدية → سلسلة الزجاج البصري؛
• نبض قصير أو طاقة عالية → تفضل السيليكا المنصهرة مع طلاء منخفض الامتصاص (أرقام الأجزاء "-26").

الخطوة 4 - التحقق من LIDT

• تطابق مدة النبض الفعلية وكثافة الطاقة ضد LIDT (تختلف قيم النانو ثانية والفيمتو ثانية بأمرين من حيث الحجم - انظر القسم 4)؛
• رسمياً:يعتمد موسع الشعاع الفعلي LIDT وتحول التركيز الحراري على إعداد النظام المحدد ومعلمات الليزر؛ يوصى بإجراء اختبار قبل الاستخدام.

الخطوة 5 - قرر ما إذا كنت بحاجة إلى موسع الشعاع

• لتقليل حجم البقعة ← قم بتوسيع قطر شعاع الإدخال (استخدام موسع للاقتراب من فتحة إدخال تصميم عدسة المجال ينتج عنه أصغر بقعة)؛
• لضبط موضع التركيز البؤري / البعد البؤري الخلفي ← قم بتغيير تباعد الإدخال باستخدام الموسع؛
• للتقليل بدلاً من التوسيع ← رسميًا، يمكن استخدام موسعات LINOS في الاتجاه المعاكس كمخفضات للشعاع.

الخطوة 6 - إصلاح الواجهات والإعدادات المسبقة والمواد الاستهلاكية

• بالنسبة للإصدارات المزودة بمحركات، تأكد من لاحقة الواجهة (−20 / −21 / −22) وما إذا كانت هناك حاجة إلى تبديل تلقائي بـ 10 إعدادات مسبقة؛
• تحقق من خيط العدسة الميدانية (M85×1، مع النماذج الفردية عند M76×1 / M110×1) وقطر تركيب الموسع (Ø37.6 -0.1 مم)؛
• اطلب زجاجًا واقيًا مطابقًا في نفس عملية الشراء.

• المأزق 1: النظر فقط إلى مجال المسح، وليس مسافة العمل.يوفر الطول البؤري الطويل مساحة كبيرة ولكن أيضًا WD طويل (على سبيل المثال، الطول البؤري 420 مم → WD 510.9 مم). إذا كان هيكل الآلة لا يمكنه استيعابها، فاستبعد ذلك في الخطوة الأولى.
• المأزق 2: اختيار البصريات على LIDT بالنانو ثانية لعملية الفيمتو ثانية.البيانات الرسمية: تظهر عدسات مجال السيليكا المندمجة 40 جول/سم² عند 12 نانوثانية ولكن فقط 0.9 جول/سم² عند 291 قدم مربع. يؤدي الاختيار مقابل قيمة النانو ثانية إلى حدوث أضرار متتالية في وقت قصير.
• المأزق 3: الخلط بين "الفتحة الميكانيكية" و"الفتحة الضوئية 1/e²".يبلغ الحد الأقصى للإخراج الميكانيكي لموسع الحزمة 31 مم، في حين قد يكون نموذج محدد 25 مم أو 30.9 مم عند التعريف 1/e²؛ حساب البقعة من 31 ملم يعطي إجابة خاطئة.
• المأزق 4: نسيان أن فتحة الإدخال الموسعة تتقلص مع التكبير.التقريب الرسمي: الحد الأقصى لقطر شعاع الإدخال = 31 مم ÷ التكبير. يؤدي تحديد التكبير العالي دون التحقق من فتحة الإدخال إلى ظهور التظليل أو القطع.
• المأزق 5: خلط البصريات المركزية وغير المركزية في عملية واحدة.تحافظ إصدارات مركزية البعد على ثبات استدارة النقطة وزاوية السقوط عبر الحقل؛ تختلف الإصدارات غير المركزية باختلاف الموضع. ويؤدي خلطها على جهاز واحد إلى إنتاج جودة غير متناسقة بين المحطات.
• المأزق 6: تجاهل حد انحراف زاوية الإدخال بمقدار 0.2 درجة.رسميًا، يُسمح بحد أقصى لانحراف زاوية الإدخال قدره 0.2 درجة دون التظليل، ويتم تضخيم إمالة الخرج بعكس التكبير - لذا كلما زاد التكبير، زاد الألم في مسار الشعاع غير المتقن.
• المعضلة السابعة : عدم تخزين الزجاج الواقي .الزجاج الواقي هو مادة استهلاكية قابلة للاستبدال ويتم طلبها بشكل منفصل؛ نفاد يوقف الخط.

9. ربط المنتج: تحديد مصادر عدسات LINOS الميدانية وموسعات الشعاع

تقوم شركة Fradwell بتزويد عدسات مجال LINOS الألمانية الأصلية (F-Theta-Ronar) وموسعات الشعاع، مع دعم الاختيار عن طريق الطول البؤري / الطول الموجي / مجال المسح، والتحقق من ورقة البيانات، والشحن في جميع أنحاء العالم:

• 1030-1080 نانومتر عدسات مجال السيليكا المنصهرة منخفضة الامتصاص(70 / 100 / 118 / 163 / 167 / 251 / 255 / 270 / 340 / 420 مم): [العنصر النائب لصفحة المنتج]؛
• عدسات مجال السيليكا المندمجة بالأشعة فوق البنفسجية 340-360 نانومتر(70 / 100 / 160 / 167 / 255 مم): [العنصر النائب لصفحة المنتج]؛
• موسعات شعاع التكبير المتغير اليدوية(1x-4x، 2x-8x، نطاقات الطول الموجي المتعددة): [العنصر النائب لصفحة المنتج]؛
• موسعات شعاع التكبير المتغيرة بمحركات(1x-4x، 2x-8x، 10 إعدادات مسبقة): [العنصر النائب لصفحة المنتج]؛
• موسعات شعاع الأشعة فوق البنفسجية منخفضة إطلاق الغازات(1x-4x، أشباه الموصلات/الرقاقة/العرض): [العنصر النائب لصفحة المنتج]؛
• زجاج واقي مطابق (سلسلة PG): [العنصر النائب لصفحة المنتج].

للحصول على دعم الاختيار، أرسل لنا: الطول الموجي لليزر، ومتوسط/ذروة الطاقة ومدة النبض، ومجال المسح المستهدف، وقطر نقطة الهدف، وقيود مسافة العمل، ونموذج الماسح الضوئي بزاوية المسح القصوى.

10. الاستنتاج

اختيار عدسة مجال LINOS وموسع الشعاع في ثلاث جمل:

السابقة: دليل اختيار واجهة الإنسان والآلة 2026: WEINVIEW مقابل Kinco مقابل Siemens مقابل Pro-face

ارجع الى